以無生命微粒為控製的對象。主要控製空氣塵埃微粒對工作對象的汙染,內部一般保持正壓狀態。它適用於精密機械工業、電子工業(半導體、集成電路等)宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業(光盤、膠片、磁帶生產)LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。電子工廠潔淨廠房的設計、建造必須適應電子行業快速發展的需要。從潔淨廠房的規劃開始,對於電子工廠潔淨廠房的工藝設計、工藝布局應充分考慮電子產品發展的靈活性,以滿足電子產品生產工藝改造和擴大生產的需求。同時考慮係統的節能運行。
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