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無塵室的等級分類及應用標準

作者: 瀏覽量:671 來源:本站 時間:2021-12-06 14:25:47

信息摘要:

無塵室的適用範圍很廣,隻要潔淨要求比較高的都會用到。今天糖心官方网站VLOG就來為大家講述一下無塵室等級分類及應用標準。一、無塵室的等級說明依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100

  無塵室的適用範圍很廣,隻要潔淨要求比較高的都會用到。今天糖心官方网站VLOG就來為大家講述一下無塵室等級分類及應用標準。

  

  一、無塵室的等級說明

  依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無塵室的等級隻用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸是0.5um,無塵室等級應以特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大於75顆/立方英尺),1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大於35顆/立方英尺)。

  

  二、無塵室等級標準

  據查詢無塵室等級標準的版本較多,於是小編就整理兩個較常用的劃分標準,分別是國際標準 ioses14 ** 4-1、中國標準 GB/T16292-1996,具體詳情請看下表:

  空氣潔淨度分級標準:ioses14 ** 4-1(國際標準)

  

  空氣潔淨度分級標準:GB/T16292-1996(中國標準)

  

  

  三、無塵室標準分類

  >>>亂流式(Turbulent Flow):

  空氣由空調箱經風管與無塵車間內的空氣過濾器(HEPA)進入無塵室,並由無塵車間兩側隔間牆板或高架地板回風。氣流非直線型運動呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用於無塵室等級為1,000-100,000級的。

  優點:構造簡單、係統建造成本低,無塵室擴充比較容易,在某些特殊用途場所可並用無塵工作台,提高無塵車間等級。

  缺點:亂流造成的微塵粒子於室內空間飄浮不易排出,易汙染產品。另外若係統停止運轉再激活,欲達要求的潔淨度,需耗時相當長一段時間。

  

  >>>層流式(Laminar):

  層流式空氣氣流運動成均勻的直線形,空氣由覆蓋率100%的過濾器進入室內,並由高架地板或兩側隔牆板回風,此型式適用於無塵室等級需求較高的環境使用,一般其無塵室等級為Class 1~100。

  

  其型式可分為二種:

  ▶無塵車間水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊牆壁的回風係統回風,塵埃隨風向排出室外,一般下流側汙染較嚴重。

  優點:構造簡單,運轉後短時間內即可變穩定。

  缺點:建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。

  

  ▶無塵車間垂直層流式:房間天花板完全用ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可獲得較高的潔淨度,在生產中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外並不會影響其它工作區域。

  優點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩定狀態,不易受作業狀態或作業人員所影響。

  缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板的吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。

  

  >>>複合式(Mixed Type):

  複合式是將亂流式及層流式予以複合並用,可提供局部超潔淨空氣。

  ●無塵車間潔淨隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將生產區域或工作區域100%覆蓋使潔淨度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員的工作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質,超大規模集成電路生產大都采用此種型式。

  潔淨隧道另有二項優點:彈性擴充容易、維修設備時可在維修區輕易執行。

  ●無塵車間潔淨管道(Clean Tube):將產品流程經過的自動生產線包圍並糖心VLOG破解版入口處理,將潔淨度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離,少量的送風即可得到良好的潔淨度,可節省能源,不需人工的自動化生產線最適宜使用。藥品、食品及半導體均適用。

  ●無塵車間並裝局部無塵室(Clean Spot):將亂流無塵室內的產品生產區的潔淨度等級提高為10~1000級以上,為生產用。

  

  

  四、無塵室的應用標準

  若想檢驗無塵室是否達到應用標準,大家可以先從遮蔽率;風速、溫濕度;壓差、構成要求這四個方麵考慮:

  

  >>>遮蔽率

  

  Air Change:FFU的表麵積*風速*FFU數量/無塵室體積

  HEPA遮蔽率:FFU的表麵積*FFU數量/無塵室麵積

  >>>風速、溫濕度

  氣流速度為:0.3-0.5m/s(60-100ft/min)

  一般溫度控製範圍:T=(21±2)℃

  一般濕度控製範圍:(45±5)%RH

  >>>壓差

  在兩個無塵室間合理的設計壓力差應為10Pa,而在無塵室和未確認潔淨等級的區域應保持有15Pa的壓力差。當產生這些壓力差有實際困難時,維持5Pa的最小壓力差是可以接受的。

  >>>構成要求

  A.不會因溫度變化與振動而發生裂痕

  B.不易產生微塵粒子,且很難附著粒子

  C.吸濕性小

  D.為了維持室內之濕度條件,熱絕緣性要高

  

  

  

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